設備				台数
1	QV HYPER 606 Pro(Mitutoyo)			1台
2	CRYSTA-Apex S574 (Mitutoyo)			1台
3	Quick Vision System Touch Probe Option (Mitutoyo)			1台
4	LM1100(KEYENCE)			1台
6	VK-X3050(KEYENCE)			1台
7	SURFCOM 130A(ACCRETECH)			1台
8	MM-800(NIKON)			2台
9	ボアマチック (Mitutoyo)	φ8.000 ~ φ25.000		1式
				計9台 (うち1式を含む)

測定精度	E1	XY軸	(0.8+2L/1000)μm	/	Z軸	(3.0+2L/1000)μm
	E2	XY平面	(1.4+3L/1000)μm
測定範囲	400×400×250mm		(1.4+3L/1000)μm ※
※任意の測定長さ(mm) メーカー検査方法による